影響凈化車間使用的六個關鍵因素。
一,換風。
成本因素自變量:
凈化室內的氣體分配機械設備(一般是裝修吊頂過濾裝置)被設計成自噴式,用來提供統一、清潔已過慮的氣體。給房間補充的灰塵含量,讓人想起與普通淋浴頭相反的消防龍頭。該規范展示了潔凈室主要參數、等級分類和檢驗方法的基本方針,但仍未說明如何經濟發展合理地做到規范。因為每一個加工過程和潔凈室外的規定都不一樣,所以,可以選擇不同的循環含塵量,達到預期的自然環境規定。
生產車間空氣污染物的比例和具體顆粒的產生是危及潔凈室空氣通風的關鍵因素。在加工過程中,消除顆粒的速度對其他因素沒有任何危害是非常關鍵的。其他會危及循環氣體總數的因素是:房屋結構、機械設備位置、機械設備外部溫度、空氣對流、旋風類型(單邊根據項目區域或全空間)、實際操作室內空間和規章制度、應用原材料和化學品等。
二、單邊,流場,垂直或水平旋風。
在許多例子中,單邊旋風分離器只應用于小室內空間和凈化車間的敏感區域,并應用于微自然環境。空氣污染物的根源將存在于手套箱、過濾控制模塊等區域。大多數設計方案是單邊旋風分離器清潔室外的總體規劃方案。只有在該區域沒有操作人員、生產線設備和排氣系統設備時,才能完成單邊旋風分離器。垂直或水平旋風分離器的選擇取決于房屋結構和機械設備的放置位置,流場可以帶走空氣污染物。
三、空氣凈化系統軟件。
根據潔凈室外的主要用途,也可以選擇其他機械設備。例如,在循環系統風加新風系統解決系統軟件中,HEPA過濾裝置用碳吸附或類似功能的生成過濾裝置解決揮發性有機化合物和靜電感應過濾箱。
四、氣體CPU。
新風系統解決空調機組[Make-upAHUs]。典型的家用新風系統解決了制冷機組(中低制冷機組)為呼吸系統制冷機組(二級制冷機組)提供必要的家用新風系統問題。新風系統由過濾排煙風扇、軸流或plug離心風扇加濾裝置、加熱和再熱開水風扇盤管、制冷和除濕冷藏水風扇盤管、蒸汽和隔熱空氣加濕器組成。附件和差異包括靜電感應氣體切換閥、蒸汽加熱風扇盤管、超聲空氣加濕器、鹽水、除濕用的即時交換[Dx]或乙二醇超低溫冷藏風扇盤管、揮發性有機吸附過濾器、噪聲衰減器、VFP(DC變頻)驅動器等。
多個循環系統風空調機組根據排風管,再經過ULPA過濾裝置或HEPA過濾裝置,將氣體送入潔凈室,在潔凈室等級為10級和1級的裝修吊頂上,這種過濾裝置一般為100百分比遮蓋。垂直單邊旋風向下根據清潔室,穿過帶孔的防靜電地板磚進入木地板下的送風室內空間,再根據垂直送風夾道向上進入裝修吊頂送風靜壓箱。接著,氣體再次進入循環系統風空調機組,上部的氣體循環系統再次重復。若采用裝修吊頂離心風機過濾裝置,則可在離心風機過濾裝置上方裝修吊頂室內空間時,可安裝水或立即更換制冷[DX-coled]風盤完成表面制冷。
五、氣體壓力差。
潔凈室的增加是必要的。其作用是確保潔凈室消除鄰近地區的環境污染,控制有害空氣污染物的流入,避免不同地區之間的交叉環境污染,并幫助保持規定的溫度和濕度水平。
許多微電子技術和光刻技術潔凈室都成功地選擇了被動標準氣壓操作,只有在大門全部打開的情況下,入口的排風量才能保持在每分50-100英尺。有些生物醫藥公司規定主動控制壓差,選擇補充新風系統的方法,全自動補充按門泄漏的氣體(當門打開時)。
六、溫度控制。
溫度和環境濕度的變化會引起生產線設備的偏差,危害加工過程的正確性,蕞后降低良品率,提高消耗。因此,潔凈室對溫度的嚴格控制規定是不言而喻的,這個費用是必要的。
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