空氣濕度高會對半導(dǎo)體無塵車間造成什么傷害?
開始病原菌會不斷發(fā)育,從而降低無塵車間的潔凈室水平:我們知道病原菌和其他外來物種(黃曲霉、病毒感染、病原菌、滿蟲)可以在空氣相對濕度超過百分之60的地理環(huán)境中活動繁殖。有些腸道益生菌在空氣相對濕度超過百分之30時(shí)可以增加。當(dāng)空氣濕度在百分之40~60之間時(shí),病原菌的危害和上呼吸道感染至少可以減少。
其次,高空氣相對濕度會導(dǎo)致生產(chǎn)線設(shè)備腐蝕,縮短使用壽命。雖然許多工業(yè)設(shè)備的外殼是由非金屬材料制成的,如塑料或不銹鋼板芯,但許多部件仍然是由銅或不銹鋼板等金屬高分子材料制成的。在高低溫地形下,零件容易生銹,從而縮短工業(yè)設(shè)備的使用壽命。
再一次控制空氣相對濕度,可以為員工提供舒服的辦公環(huán)境,空氣濕度在百分之40~60范圍內(nèi)。過高的空氣相對濕度讓人感到煩悶,而過高的空氣相對濕度低于百分之30則會讓人感到干燥、皮膚開裂、呼吸道不適和情緒緩慢。
之后,產(chǎn)品會潮濕,導(dǎo)致產(chǎn)品質(zhì)量下降。半導(dǎo)體采用其單側(cè)導(dǎo)電能力。一旦潮濕,就會變成電導(dǎo)體,容易出現(xiàn)短路故障,損害產(chǎn)品特性。而且空氣相對濕度的增加會繼續(xù)損害半導(dǎo)體輔助材料的其他特性。以半導(dǎo)體光刻工藝為例。實(shí)驗(yàn)證明,光刻工藝的粘度會隨著空氣相對濕度的增加而迅速降低。
因此說半導(dǎo)體無塵車間盡量做好控濕工作,要準(zhǔn)確保證半導(dǎo)體的生產(chǎn)加工規(guī)范,就要盡量采用專業(yè)的除濕機(jī)械設(shè)備進(jìn)行防潮除濕。
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